|
| 
| | Bu sistem, amonyak ve asit gazlarının yüksek hassasiyetle ölçümü için difüzyon scrubber kullanır. Difüzyon scrubber ile emilen amonyak/asit gazlarını, iyon kromatograf ile analiz edilir. Arzu edildiği takdirde çok noktalı (16 nokta) model seçilebilir. Yokogawa iki tip clean room gaz monitörü üretmiştir. Asıl olarak amonyak gazını ölçen CM501 modeli ve amonyak gazına ek olark asidik gazları (hidrojen klorür, fosforik asit, sülfür dioksit, vb.) ölçebilen CM502 modeli. Özellikleri: | Amonyak gazı 0.01 mg/m3 hassasiyetle ölçülür. Asidik gazlar (hidrojen klorür, fosforik asit, sülfür dioksit, vb.) amonyak gazıyla aynı hassasiyette ölçülür. Yüksek güvenilirliğe sahip iyon kromatograf yöntemi kullanılır. Difüzyon scrubber tekniği kirlenmeleri en aza indirir. Eluent (hareketli faz) tüketimi minimumdur ve ayda bir kere eluent değişimi yeterlidir Sonuçlar çalışma istasyonlarından eğim grafiği üzerinde izlenebilir. Filtre ömrünü tahmin eden yazılım standart özellik olarak mevcuttur. 16 noktadan ölçüm alınabilir. (opsiyonel). CM501 modeli Inernational Safety Standards SEMI S2-93A & S8-95 ve CE standartlarına uyar.
| Model :Clean Room Gaz Monitörü
Models CM501 ve CM502 Sistem Özellikleri | Ölçüm | CM501; | Amonyak gazı (katyon analizi) veya asidik gaz (anyon analizi: hidrojen klorür, fosforik asit, sülfür dioksit, vb) | CM502; | Amonyak ve asit gazı | Gaz toplama metodu | Difüsyon scrubber sistemi | Analiz metodu | Iyon kromatografi | Ölçüm aralığı | 0 - 50 mg/m3 | Minimum bulma limiti | 0.01 mg/m3 | Ölçüm devri | Minimum 35 dak. devir, 45 dak., 60 dak., 90 dak. | Ölçüm noktaları | Bir nokta veya 16 noktaya kadar (opsiyonel) | Kalibrasyon | Standart çözeltiler kullanarak kalibrasyon veya otomatik kalibrasyon |
| | |
|
